近日，座落在杭州城西科创年夜走廊浙年夜结果转化基地的天下首台国产贸易电子束光刻机 羲之 ，已经进入运用测试阶段，其精度到达 0.6 纳米，比肩国际主流装备，标志着量子芯片研发有了 中国刻刀 。

与经常使用的 EUV 光刻机差异， 羲之 以高能电子束为 笔 ，直接于硅基芯片上 手写 电路图案，无需掩膜版，犹如艺术家精雕细琢;而 EUV 光刻机则使用极紫外光，经由历程掩膜版投影，3377体育电竞-像工业流水线般实现整片晶圆的快速暴光。

性能方面， 羲之 精度达 0.6 纳米，线宽 8 纳米，远超 EUV 主流装备，但每一加工一片晶圆需泯灭数小时，效率远低在 EUV 光刻机每一小时上百片的产出。

运用场景上， 羲之 专注在高精度、小批量需求，如量子芯片原型、进步前辈封装等，能年夜幅缩短海内企业及机构的芯片研发迭代周期，且装备价钱比国际偕行低 30%，另有省去掩膜版成本;EUV 光刻机则擅长 CPU、存储芯片等年夜规模消费产物制造。

持久以来，泰西垄断高端光刻装备， 羲之 的降生打破了这一场所排场，为我国半导体研发提供自立可控的要害设备，助力从试验室到市场的转化。未来，随着多电子束技术生长，国产装备于进步前辈封装领域份额有望进一步晋升，推动新能源车、AI 芯片等行业生长。